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1、適用晶圓尺寸：6吋及以下；

2、勻膠轉(zhuǎn)速范圍：100 轉(zhuǎn)/分 ~ 9000轉(zhuǎn)/分可調(diào)；

3、勻膠時(shí)間范圍：1秒 ~ 3000秒可調(diào)；

4、轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定度：≤±1%；

5、膠的不均勻性：≤±2%；

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)形式：加減速度可調(diào)，可設(shè)多種程序控制；

7、機(jī)器控制模塊：液晶顯示、燈光閃爍、聲光報(bào)警；

8、電源：AC220V/50Hz，120W；

9、機(jī)器外形尺寸：W320mm×H375mm×D323mm。